激光束指向和位置稳定系统

德国TEM公司研发的激光束指向和位置稳定系统（调光锁定系统），使用PSD(或其他探测器)探测光束指向和位置漂移量，反馈控制致动反射镜补偿光束漂移，伺服带宽超过5KHz，最高反馈精度<10nm,<10nrad。目前，TEM激光束指向和位置稳定系统已广泛应用于强激光核物理，深空激光通信，激光精密加工领域。

应用：

?  高精度材料加工

?  空气扰动和漂移补偿

?  光学部件移动干扰补偿

?  激光多应用转换

?  光学装置特性描述的多灰度扫描

?  单模光纤/高位谐波振荡毛细管自动连接优化

?  激光替换全自动校准

?  不同光学平台和房间的激光实验

?  激光打孔: 激光漂移补偿

技术参数：

? 连续波和脉冲激光器:重复频率 0.1Hz-200MHz/连续波

? 模块化系统,单装置2/4光束控制

? 反馈精度: <1μm,<1μrad (最低可达10-100 nm)

? 超大扫描范围:>18°

? 全波段(标准:380-1100nm,定制180 nm-10 μm,THz（太赫兹)）,任意光束直径

? 高速度:伺服频宽超过5kHz

? 压电驱动制动器和机械装置多种组合

? 全计算机控制(USB,串口,局域网),完全独立操作

? 外部测量装置连接件(功率计,PDs, ...)