（0.1～1.0）L/min

不超过±2%

（60～130）L/min

不超过±2%

1min～99h59min

不超过±0.2%

1min～99h59min

不超过±0.2%

1min～99h59min

不超过±0.2%

1～99 次

<99h59min

9999.99L

（-20～0）Kpa

不超过±2.5%

（70～130）Kpa

不超过±2.5%

（15～30）℃

不超过±1.5℃

(-30～+50) ℃

不超过±1℃

AC220V±10% 50Hz

Da50 = (2.5±0.2)μm  σg = (1.2±0.1) μm

Da50 = (10±0.5)μm  σg = (1.5±0.1) μm

0.3m/s

0.625

100 L/min

Ф80mm

M20×1.5

389mm×234mm×302mm

约7kg