产地:美国; 品牌:Genmark
仪器简介:
应用: ◆半导体、研究所等需要用到晶圆分拣的单位。
技术参数:
Genmark 公司的Sort-Max是一种快速、稳定、洁净的晶圆分拣器。Sort-Max可以适用于100mm~300mm的晶圆或光罩。它的功能包括分拣、检查、lot分离、储存、合并、ID扫描和FOUP平衡等。
主要特点:
◆快速、稳定、洁净; ◆可定制化; ◆吞吐量高; ◆自我调节。
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