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仪器的原理,主要构成与特点与WIVS-I型 基本相同,其区别如下: 1 、干涉显微镜为自主设计,具有4x、10x、20x、40x、60x、100x等显微镜组,用户可根据测量视场范围及横向分辨率的要求挑选。而WIVS—I型由于是6JA干涉显微镜改造而来,其物镜是固定的,为40x。因此WIVS-II型干涉显微镜的测量视场扩大了,显微镜的分辨率,范围的选择扩 大了。 2 、WIVS-II型 垂直扫描白光干涉表面轮廓测量仪垂直扫描时的驱动对象为: 驱动镜头进行垂直方向的扫描。
上海纳腾原位MEMS芯片和同步辐射Holder 应用于光学领域
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光学表面缺陷分析仪
WIVS-Ⅲ型白光干涉三维轮廓测量仪