现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm，Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm，观察性能与现有机型相比提高了20％左右。

此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的最佳性能。

• *1

• 仅限Regulus8240/8230/8220

特色
 

• 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

• 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能

• 与现有机型相比分辨率提高了20％左右
  (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

• 采用污染小、高真空样品仓

• 运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察

样品：金颗粒
着陆电压：10 V

超高分辨观察

样品：Pt催化剂
加速电压：30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

样品：Sn球
着陆电压：1.5 kV

• *2

• 仅限Regulus8240/8230/8220
  
  规格

  项目	Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
  二次电子分辨率	0.8 nm （加速电压15 kV） 1.1 nm （着陆电压1 kV）*3	0.7 nm（加速电压 15 kV） 0.9 nm（着陆电压 1 kV）*3
  着陆电压	0.1～2 kV	0.01～20 kV
  放大倍率	20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
  样品台	样品台控制	3轴马达台（可选5轴马达台）	5轴马达驱动
  移动范围	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
  Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
  R	360°
  T	-5～70°
  Z	1.5～30 mm	1.5～40 mm
  再现性	-	-	-	±0.5 μm以下含±0.5 μm

   

• *3

• 减速模式下观察

• *4

• 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率

•