本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：需要选配冷水机

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，环保节能。内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高设备

　　的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。

2、滑轨式法兰结构，方便取放样品。

3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

4、三个加热区域实现更长的温度区和一个特定的温度梯度。

5、采用三个PID控制器，通过可控硅来进行温度控制，可以设置30段升降温程序。

6、右端法兰装载石英管堵，用以阻止热辐射；左端法兰上设有4片磨砂石英挡片，用于阻止热辐射。

7、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：单相220V  8KW

2、石英管：外径?216mm，内径?208mm，长1300mm

3、加热元件：Ni-Cr-Al电阻丝

4、加热区域：长900mm

5、温区：3个，各300mm长

6、恒温区域：500mm（三个温区设置一样的温度）

7、工作温度：≤1100℃，连续工作400℃-1000℃

8、升降温速率：≤10℃/min

9、控温精度：±1℃

10、真空度：10^-2torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

11、热偶检测口：1个

12、真空接口：KF-25

13、进气接口：5路，精密不锈钢针阀密封

14、炉体：1000mm×700mm×1060mm

15、滑轨：600mm

产品规格

尺寸：1780mm×1780mm×1650mm；重量：354kg

标准配件

1

石英管堵

1个

2

KF-25真空挡板阀

1个

3

KF-40不锈钢波纹管

1根

可选配件

1、软件接口模块和PC机

2、K型热电偶（?6.35mm×915mm，用于对炉膛温度校准）

3、冷水机