本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统。

2、炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，有效的减少能量的损失。

3、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率及洁净度。

4、为了防止热量以热辐射的形式损失，配有两套氧化铝管堵。

5、采用PID控制器，可以设置30段升降温程序。

6、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：AC220V 1.2KW

2、石英管：外径?25mm，内径?20mm，长450mm

                     外径?50mm，内径?43mm，长450mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4、加热区域：200mm

5、恒温区域：60mm（1000℃，±1℃）

6、工作温度：≤1200℃（<1h），连续工作1100℃

7、升降温速率：≤10℃/min

8、控温精度：±1℃

9、真空度：10^-2torr（机械泵）

产品规格

尺寸：750mm×300mm×400mm；重量：18kg

标准配件

1

氧化铝管堵

2套

2

不锈钢法兰

1套

可选配件

1、石英管堵

2、波纹管

3、数字真空计

4、KF25转换接头

5、卡套接头（?6.35mm，可使炉管内获得微正压）