本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统，壳体表面温度<55℃。

2、炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料。

3、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和洁净度，同时延长使用寿命。

4、采用PID控制器，可以设置30段升降温程序。

5、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：AC 220V  50Hz/60Hz   6KW

2、石英管：外径?125mm，内径?120mm，长1400mm（可选?80mm、?100mm）

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4、加热区域：880mm

5、恒温区域：440mm

6、工作温度：最高1200℃（<1h），连续工作1100℃

7、最大升降温速率：20℃/min

8、控温精度：±1℃

9、真空度：10^-2torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

10、漏气率：<5mtorr/min

产品规格

尺寸：1100mm×450mm×670mm；重量：80kg

标准配件

1

石英管

1根

2

氧化铝管堵

4个

3

不锈钢法兰

2个

4

高温手套

1双

可选配件

1、铰链式法兰

2、石英管堵

3、KF25转接头

4、卡套接头

5、滑轨法兰

6、移动炉架