本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统。

2、炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料。

3、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和洁净度，同时延长使用寿命。

4、采用三个独立的PID控制器，可以设置30段升降温程序。

5、已通过CE认证。

技术参数

1、电源：AC 220V  50Hz/60Hz   7KW

2、石英管：外径?60mm，内径?55mm，长1400mm

                      外径?80mm，内径?72mm，长1400mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝

4、加热区域：900mm（220mm+440mm+220mm）

5、恒温区域：635mm（三温区设置成同一温度）

6、工作温度：最高1200℃，连续工作1100℃

7、最大升降温速率：20℃/min

8、控温精度：±1℃

产品规格

尺寸：1030mm×430mm×580mm

标准配件

1

石英管

1根

2

氧化铝管堵

4个

可选配件

1、铰链式法兰

2、数字真空计

3、石英管堵