本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

控温精度高，保温效果好，温度范围大，温度均匀性高，温区多，可通气氛抽真空及安全可靠、操作简单等特点。

技术参数

1、电源：AC 220V  50Hz/60Hz  4KW

2、氧化铝陶瓷管：外径?60mm，?80mm，长1200mm

3、加热元件：温区I硅碳棒，温区II硅钼棒，温区I硅碳棒

4、工作温度：1300℃（温区I），1500℃（温区II），1300℃（温区III）

5、最高温度：1400℃（温区I），1600℃（温区II），1400℃（温区III）

6、控温精度：±1℃

产品规格

尺寸：860mm×470mm×720mm；重量：150kg

标准配件

1

氧化铝陶瓷管

1根

2

氧化铝管堵

4个

3

真空法兰

1套

4

坩埚钳

1把

5

高温手套

1双

可选配件

1、高真空系统

2、供气混气系统

3、石英管

4、氧化铝坩埚

5、石英坩埚

6、双级旋片真空泵

7、PC控制软件