技术参数

功能

双通道

三通道

四通道

五通道

质子流量控制器

工作温度：5~45oC  
最大压力:3x106 Pa  
精度: ±1.5% FS  
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度：5~45 oC
最大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度: 5~45 oC
最大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

工作温度: 5~45 oC
最大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制

产品规格

外形尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

输入电源

AC 220V/50Hz单相

功  率

23W

PLC触摸屏

各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上

RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制

机械压力表

有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

针  阀

316 不锈钢

通气管道

内部连接管道为1/4”不锈钢管

外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

316不锈钢针阀

Φ1/4” 不锈钢管