技术参数

1、 环境温度5~32℃                           

2、空气相对湿度≤80%           

3、工作电电压：220V±10%  50~60HZ 

4、功率：1KW

5、系统极限真空度：1.0X10^-4Pa

6、外形尺寸：600 X600 X 750mm

标准配件

1

机械泵

抽气速率：4L/S

电机功率：400W

极限压强6X10^-2Pa

2

F-100/110分子泵

抽气速率：100L/S

极限压强：6X10^-6Pa

启动时间：＜2min

额定转速：4300转/分

冷却方式:：风冷/水冷

3

分子泵控制电源

 电压：200~240V；  输出功率：250W

 加速时间：3分钟

输出频率：高速704Hz±10%，低速430 Hz±10%

4

ZDF-Ⅲ复合真空计

工作电电压：220V  50~60HZ

 电阻规阻值：约85 欧

 自动保护（电离）>10Pa

电离规管测量范围：100~10^-5Pa

电阻规管测量范围：105 ～10^-1 pa

5

高真空手动隔断阀

采用氟胶圈密封，快卸法兰接口

漏率达5X10^-9 Pam3/s

6

连接管路

采用全不锈钢，电抛光制作，

零件焊接漏率优于 1×10-9Pa.m3/S