本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带?6mm双卡套接头）

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

   1、由OTF-1200X-4单温区炉演变而来的紧凑型CVD炉。

   2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

   3、带样品支架的右法兰是滑动的，方便样品的快速取放。

   4、左侧的小加热器可对输入CVD 炉的气体、液体、固体或混合物进行预加热，不锈钢加热腔外径?30mm、长150mm，最高工作温度600℃。

   5、左边法兰（在加热器与CVD炉之间）装有4个1/4"卡套连结的通气管，具有密封和气体通道的作用。

   6、PID自整定数字控制器，可以设置30段升降温程序。

   7、选配相关软件可用计算机进行控温。

   8、已通过CE认证。

技术参数

   1、额定电压：单相AC 220V  50Hz/60Hz  

   2、额定功率：3KW（需20A的空气开关）

   3、石英管：外管外径?110mm，内径?102mm，长381mm

   4、加热区域：CVD炉400mm，加热器150mm，

   5、工作温度：CVD炉最高1100℃（<2h），连续工作200℃-1000℃，最大升降温速率10℃/min；加热器连续工作0-500℃，最大升降温速率10℃/min

   6、控温精度：±1℃

   7、热电偶：K型

   8、右法兰：一个3"石英样品支架，与石英挡板、法兰连成一体，设有KF25真空快接口，以及水冷接口（可选配水 冷机，避免O型圈融化）

   9、左法兰：有2个独立1/4″口，可单独将任何气体通入炉内，一路1/4"口将预热气体通入CVD炉，一路1/4″口将不加 热的气体通入炉内，并通过炉内的T型结构与加热气体汇合

产品规格

　尺寸：1200mm×450mm×510mm；重量：100kg

可选配件

   1、冷水机

   2、控温软件