VTC-180EVS溅射蒸发一体机主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产。
产品名称 | VTC-180EVS溅射蒸发一体机 | |
主要特点 | 1、磁控溅射和电阻蒸发双应用。本机采用可磁控溅射与电阻蒸发免拆卸转换结构,可快速实现蒸发源的转换。 | |
技术参数 |
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2、蒸发电源功率: 1000W/5V/200A | ||
4、样品台规格: 直径150mm(可选配旋转、挡板和偏压功能) | ||
5、供电电压: AC220V/2000W 7、膜厚测量精度: 0.1? 或0.01?(高精度型) | ||
产品规格 | 1、外型尺寸: 480x320x460(宽x 高x 深)不包含真空泵 |