技术参数

1、电源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz

2、输入功率：5W-100W（可调），稳定性±1%        

3、射频频率：13.56MHz，稳定性±0.005%

4、匹配：手动匹配

5、冷却：风冷

6、噪音：<50dB

产品规格

尺寸：390mm×260mm×105mm

可选配件

1、1"高真空磁控溅射头，可自行搭建RF或DC溅射镀膜仪。

2、同时购买100W射频发射器和1"磁控溅射头时，本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75"，可将溅射

 　头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1"，真空腔体的壁厚不得大于1"。

3、循环水冷机，流量为16L/min，水箱容积为6L。