产品型号

GPC-100A

主要特点

可严格控制被磨样品表面的平行度和平面度，控制准确度高。研磨过程中可搭配数显测厚仪使用，随时观测样品磨削量，尤其适用于表面平行度和平面度及样品厚度要求高的晶圆样品研磨使用。

技术参数

1、载样盘直径：?103mm

2、载样盘轴向行程：12mm

3、数显表精度：0.001mm

4、载样盘可调加载压力：0.1kg-2.1kg

5、压力确认仪有效量程：1g-5000g

6、样品装卡方式：真空吸附

7、承载样件尺寸：直径≤103mm、厚度≤12mm

产品规格

尺寸：外径146mm，高266mm

标准配件

1、真空泵

2、过滤瓶

3、底座

4、玻璃片