产地：德国； 品牌：尤尼坦
快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。
RSO-200快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用，适用于样品尺寸大、但是退火温度不太高的样品。
仪器特点：
- 最高工艺温度：650摄氏度；
- 加热区域：200mm x 170mm；
- 高性价比；
参考用户：
中电13所等。
共晶炉，真空烧结炉
大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品
真空快速退火炉 (RTP)
产品描述
