技术指标：
手动／电动平台 可选标准行程：
4"×4"（102×102mm），6"×8"（153×204mm），6"×12"（153×305mm）三种，其他尺寸可定制
分辨率：1μm
测量精度：±（2＋L200）μm
重复定位精度：2μm
被测物容许重量：分别为11Kg、13Kg、15Kg
光栅线位移传感器 分辨率：1μm
输出幅值：5V，相对角差90°的两路方波信号（TTL）
准确度（20℃）：±(5＋5L／1000)μm（L：传感器有效量程）
zei大速度：50m/minute
MS600-68 XYZ CNC全自动三维测量系统
光学以及成像系统 摄像头采用高分辨率SONY芯片 激光定位装置
高清晰度显微镜：平行光路平场设计，0.68~4.5X变焦，带倍数定位，总放大倍数10~135X（可根据需要提高到4.65~1080X）
照明：LED或选配光纤冷光源
Z轴：手动Z轴（不带测量功能）
调焦范围：290mm
Z轴带量测范围：4"（101mm）
分辨率：1μm
测量精度：10μm
底座尺寸（长）×（宽）×（高）：610×450×65mm
平面度：0.05mm 底座重量：15Kg