GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪,可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜,样品直径可达50mm,镀膜厚度可达300埃,特别适用于SEM样品的镀膜。
主要特点
1、设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。
2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得最佳镀膜效
果。
3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。
6、已通过CE认证。
技术参数
1、电源:220V
2、总功率:<2000W(包括真空泵)
3、真空室:Φ160mm×120mm
4、样品台:Φ50mm,且高度可调,可同时进行8个SEM样品的镀膜
5、最大均匀镀膜:Φ45mm
产品规格
尺寸:400mm×300mm×400mm
重量:30kg
标准配件
1、金靶材
2、进气针阀
3、保险丝
可选配件
金、铟、银、铂等各种靶材