产品描述
PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 Φ8.5 "×12"的石英腔体，采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
主要特点
1、采用6″彩色触摸屏，可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。
2、内部配有0-500mm/min的质量流量计，可以精确地控制进气流量。
技术参数
1、电源：AC220V
2、射频功率：最大100W，可在0-100W间调节
3、真空泵功率：<500W
4、总功率：<600W
5、射频：13.56MHz
6、等离子腔体：高纯石英腔体，外径 Φ8.5 "，内径 Φ8.2 "，长12"，采用铝制折叠式法兰进行真空密封，法兰设有一个
Φ60mm的观察窗口
7、极限真空度：50mtorr
8、通入气体：可通入多种气体，如N2、Ar、Air、H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定）
产品规格
尺寸：620mm×450mm×600mm
标准配件
1、直连式双旋真空泵（240L/min）
2、KF25波纹管
3、KF25手动挡板阀
可选配件
1、300W、600W射频电源（进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验）
2、2″-6″石英舟（盛放基片）
3、2-4通道浮子混气系统
4、2-4通道质子混气系统
