第六代 Phenom ProX 台式扫描电镜填补了光学显微镜和落地式扫描电镜分析之间的空白，从而扩展了研究设施的能力。除了集成的能谱仪（EDS）外，它还提供快速、高分辨率的成像功能，以实现稳定、易于操作的元素分析。

飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 是终极的集成化成像分析系统。借助该系统，既可观察样品的表面形貌，又可分析其元素组分。

研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器，飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。

能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中。

Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外，该软件还可以扩展到元素分析线面扫（mapping）功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

Phenom ProX 主要技术参数

电子放大：最高 350,000 X

分辨率：优于 6 nm

电子枪：优于1,500 小时 CeB6 灯丝

加速电压：4.8 Kv - 20.5 Kv 连续可调

抽真空时间：小于 15 秒

探测器：背散射电子探测器、二次电子探测器（可选）、能谱探测器

飞纳电镜——复纳科学仪器（上海）有限公司，2012 年创立于上海，为高校，企业和研究所提供台式扫描电子显微镜，及与台式扫描电镜相关的技术支持和测试服务。复纳科学仪器（上海）有限公司成立以来，一直专注显微技术，致力于实现扫描电镜平民化。飞纳电镜——复纳科学仪器（上海）有限公司为用户提供从扫描电镜基础理论到 Level 5 应用工程师的进阶培训，在上海、北京、广州、成都设立了测试中心和售后服务中心，目前飞纳电镜在中国已经拥有超过 1500 名用户。