产地:美国; 品牌:OAI
光功率计及分析仪Model 308/317/320/375/357/457
OAI光功率计以其测量精度,重复性著称。测量数据符合美国NIST标准。广泛应用于半导体光刻能量测量及控制。
德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪
日本JEOL圆形电子束光刻机 JBX-8100FS
日本JEOL电子束光刻机JBX-3050MV
日本JEOL电子束光刻机JBX-3200MV
日本JEOL电子束光刻机JBX-6300FS
日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS