匀胶机(SPIN COATER/SPINNER)
SAWATEC AG成立于1996年。创始人Sawatzki父子将两人在半导体行业长期积累的经验与技术完美的结合，设计制造出一系列半导体相关设备。并以其可靠的，完美的性能，得到业界的好评。
SAWATEC AG 是一家高科技创新型公司，所有产品都是经过精心设计的，具有高质量，高性价比等优点。供应商遍及世界各地。

产品目录
• Hotplate 热板
• Spinner 旋涂机/匀胶机
• Developer 显影机
• 全自动集成系统 Cluster-System

Spin Module SM-180-BT, Stand alone version consisting of:

 工艺控制：5.7”单色触摸屏
 工艺参数：转速（rpm），加速度,时间（s），滴胶时间（s）
 触摸屏或开始开关控制程序开始
 zei多可设置50个操作程序，每个程序zei多可设置24步
 工作完毕自动报警功能
 POM材质腔zei大适合6” 或5”x5” (176mm)样品涂胶
 工作腔盖子为玻璃盖，盖子与基片间距可调，气动控制
 3 pcs. PE 材质保护衬垫
 1 pcs. 真空卡盘, 1英寸卡盘
 基片加载方式: 手动
 基片真空固定，带安全互锁功能
 手动PET材质腔室盖，气体流速可调
 主机柜: 不锈钢
 设备尺寸: 350x510x402mm (LxBxH) (盖子合上时)
 350x510x680mm (LxBxH) (盖子打开时)
 zei大转速: 10'000 rpm +/- 1 rpm
 电源: 240 VAC 50/60Hz 15A
 脚踏开关连接插口
 真空: tube Ø6/4mm (-0,8bar)
 压缩空气或氮气, tube Ø6/4mm (3 bar)（仅带滴胶系统设备需要连接）
 废液接口：Ø12mm
 排风接口：Ø38mm (20-50m3/h)
 重量：大约 29kg 

不含滴胶装置，可选配