参数

• 输入电压：110/220,50/60Hz,小于100W（请在订货时说明）；

• 输出频率：13.56MHz;

• 等离子直流电源：

• 低功率设定：直流680V，10mA,6.8W;

• 中功率设定：直流700V，15mA,10.5W;

• 高功率设定：直流720V，25mA,18W;

• 等离子腔室：    直径75mmx长165mm,耐热玻璃    前盖可以拆卸。

• 真空泵和阀的要求： a,大于每分钟160L
                                          b,极限压力：200mtorr或者0.27mbar
                                          c,可以选择数字真空表
                                          d,针阀控制气体流量
                                          e,采用三通阀门快速控制进气、密封等离子腔室、排气

• 气体：多种气体可以用于等离子清洗，例如氮气、氩气、空气、混合气体，主要取决于处理何种材料。

• 警示：不能使用可燃性气体。

• 外形尺寸：200mmx250mmx210mm 8、净重：（不含泵）8kg

可选真空计

（点击图片查看详细资料）

• 可选本公司生产研发的电阻真空计

• 此款真空计是以Pirani电阻规在不同真空环境下体现的热传导特性为原理而研发的一款低真空测量仪器，特别适应于从常压到0.1Pa非腐蚀性气体环境的真空度测量。