OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
技术参数
炉体结构 |
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加热元件 | 8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm)(点击图片查看详情) |
加热区 | 12" length with 4"X12”恒温区( +/-5oC ) |
石英管和样品架 |
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真空法兰 |
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水冷 | 如果要求通冷却水.
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流量计 | 范围: 16 - 160 ml/min |
真空表 |
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真空度 |
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温度控制 | PID 自动控制, 可控硅 SCR |
热偶 | 进口K 型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下。 |
温控仪 |
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最快升温速度 | 室温~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃: 10oC/sec |
最新升温曲线 | 直接升温到1000℃;分阶段升温数据 请点击查看 |
最快降温速度 | 60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一个大气压下) 选择: 为得到较快的降温速度 < 10°C/秒, 你可以选择带滑轨的 RTP 炉,如下图: |
温度 | 最高1100oC ,额定1000°C |
电源 | 208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 最大功率12KW (> 60A 保险) |