LAUDA-Noah POU
在线使用(POU)温度控制系统与压缩机系统相比可以节省最高到90％的能量。可选择安装在地板下面选项使系统的占地很小，节省了洁净室的空间。

LAUDA-Noah POU

热电工艺过程恒温器是用在半导体行业提供从-20到90℃的温度控制

满足苛刻的工艺过程快速和精确的温度控制

热电在线使用（POU）温度控制系统为等离子刻蚀工艺提供稳定的温度控制。系统动态地控制静电卡盘（ESC）的温度并可以用在任何的刻蚀工艺中。 LAUDA-NoahPOU热电温度控制系统设计的基础是基于帕尔帖元件的温度变化原理。这些原件可以实现快速且准确的温度控制，满足了当今生产尺寸越来越小器件的要求。

动态、稳定的温度控制                                                     占地小

重要功能

? 低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统

? 工业领域占地小，如果放置到地板下方则没有占地空间要求

? 极低的导热液体填充量

标配附件

? 带有手动泵的加液罐

选配附件

? 可以远程控制的通信模块（RS-485通信协议）