产品描述
Instec
来自液晶先驱院校美国科罗拉多大学的精密温控装置与液晶检测设备
功能特点 |
可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控制 |
超低的盘面温度梯度 |
独立的上盘面真空吸气槽，用于吸附固定晶圆样品 |
软件可拓展性强，可提供LabView等语言的SDK |
#升级项# 性能可升级，详见 配置列表 |
#选择项# 是否带有上盖。上盖功能如下： 可拆卸的观察窗 可变的样品腔高度 用于负温时的除霜设计 向腔室内充入气氛 |
可做改动或定制，详询上海恒商 |
技术参数 | ||
温 控 性 能 | 温度范围 | -190℃ ～ 600℃ 负温需使用液氮制冷 可提升温度上限 |
温度分辨率 | 0.001℃ | |
温度稳定性 | ±0.05℃(at 100℃) 可提升稳定性 | |
温度均匀度 | ±0.1℃/cm可升级均匀性 | |
最小控温速度 | ±0.1℃/小时 | |
最大加热速度 | +150℃/分钟(at 100℃) | |
最大制冷速度 | -100℃/分钟(at 100℃) | |
温度传感器 | 100Ω铂质RTD | |
温控方式 | 开关式PID 可升级为LVDC式PID | |
尺寸 | 样品腔面积 | 35 mm x 35 mm |
*注：液氮泵型号不同，制冷表现也会有差异，请悉知 |
配置列表 | ||
标 准 | HCC602 温控晶圆夹盘 | √ |
mK2000温度控制器 软件免费，控制线有多种接口供选 | √ | |
升 级 | 最高温度 从 600℃ 升级为 更高 | |
选 配 件 | 上盖 | |
液氮制冷系统 包含液氮泵与液氮罐，使样品降至负温 | ||
外壳水冷配件 用常温水或冰水循环防止外壳过热 | ||
固定支架 把夹盘固定在使用平台上，防止滑动 | ||
温控联动显微镜相机 温度-图像联动工作，附软件 | ||
线性可变直流电源(LVDC) 装在温控器里，抑制电噪音 | ||
*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商 | ||
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本公司为美国Instec中国区总代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中国区独家代理，不经过中间商直接与原厂接触，能提供最优惠的价格。
