产品描述
CXF-320/3001型磁悬浮分子泵
磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备，抽速为1400L/s到3000L/s，应用压力范围为20Pa到10-7Pa，包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。
产品特点：
节能：无摩擦，避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求
技术指标：
| 抽气速率（l/s） | N2：3000 Ar：2750 He：2300 H2：1100 | 压缩比 | N2：＞1E8 Ar：＞1E8 He：＞1E4 H2：＞1E3 |
| 极限压强（Pa） | 10-7（橡胶密封） | 进气口法兰 | DN320 ISO F（标配） |
| 额定转速（rpm） | 21000 | 启动时间（min） | ≤12 |
| 停机时间（min） | ≤26 | 安装方式 | 任意角度 |
| 冷却方式 | 水冷 | 推荐前级泵抽速（l/s） | ≥30 |
应用领域：
半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理
