技术指标
进气口法兰:DN160 CF DN160 ISO-K
排气口法兰(ISO-KF):DN40
测量范围(Pa):1E-5~1E5 Pa
抽速速率(L/s):N2:700 He:580 H2:260 Ar:680
压缩比:N2:1E9 He:1E7 H2:1E6 Ar:1E9
极限压强(Pa):CF:5E-5;ISO-K:5E-5
建议启动压强(Pa):100
前级泵型号:RV6( default )
冷却方式:水冷、风冷
冷却水流量(L/min):>1
冷却水温度(℃):≤25
输入电压频率(V/Hz):380±20/50HZ 220±10/50HZ
环境温度(℃):水冷方式 5℃-40℃ 风冷方式 5℃-32℃
安装方式:垂直
适配电源型号:FD-ⅡB(非标)/TCDP-Ⅱ(标准)
外形尺寸L*W*H(mm)(高=地面-过渡腔电离规处):550×690×850(水冷) 550x690x915(风冷)
重量(kg):135
产品特性