产品特点

能满足较恶劣的使用环境要求（高温、粉尘等）

性能稳定，使用寿命长

维护保养简单，方便操作

适用范围广，性能稳定

应用领域

科学研究、加速器、晶体晶振、ITO镀膜、光学镀膜、装饰镀膜、平板显示、真空炉、电真空、新能源、新材料、真空干燥、低温制冷、电子器件

技术指标

进气口法兰：DN250 CF DN250 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN50

抽速速率（L/s）：N2：1500 He：1100 H2：550 Ar：1350

压缩比：N2：1E8 He：1E4 H2：1E3 Ar：1E8

极限压强（Pa）：CF：6E-7 ISO-K：6E-6

最大连续前级压强（Pa）：300

最大前级压强（Pa）：N2：450

最大气载量（sccm）：N2：2400 He：1800 H2：1400 Ar：900

额定转速（RPM）：21000

启动时间（min）：≤8

冷却方式：水冷 

冷却水流量（L/min）：≥1

冷却水温度（℃）：≤25

电源电压（V AC）：DC24/AC220

最大功率（W）：≤750

适配电源型号：FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II

建议前级泵（L/s）：15

重量（kg）：60(LF) 63(CF)

尺寸

产品特性