技术指标

进气口法兰：DN100CF DN100 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN25

测量范围（Pa）：1E-5~1E5

抽速速率（L/s）：N2：110 He：100 H2：50 Ar：100

压缩比：N2：1E8 He：1E2 H2：1E2 Ar：1E8

极限压强（Pa）：CF:5E-5;ISO-K:5E-5

建议启动压强（Pa）：100

前级泵型号：RV4（default）

冷却方式：风冷 Air

输入电压频率（V/Hz）：220±22/50

环境温度（℃）：风冷方式 Air cooling 5℃-32℃

安装方式：垂直

适配电源型号：FD-110B

外形尺寸L*W*H（mm）：500×510×840

重量（kg）：52

产品特性