德国Bruker公司面向世界范围提供基于等离子体技术的极紫外光,远紫外光和X射线产品。
极紫外光(XUV)的波长在1纳米到50纳米之间,包括了通常所说的软X射线和远紫外光(EUV)。
特征:
安装简单,操作方便;
自成独立系统,可通过锆窗与应用真空系统隔离;
参数安全设定,符合CE标准;
可持久工作,维护费用低(只需电源和氙气)。
参数:
2 J / pulse electrical input
> 0.4 mJ / sr / pulse EUV inband
< 500 mm source diameter FWHM
> 50 Hz Reprate
Permanent operation 7 days / 24 h
Guaranteed 100.000.000 pulses;
Tested up to 230.000.000(> 1200 hours)
Flexible head orientation
广泛用于:
纳米电子器件的实验室制作
纳米电子工业的光刻和工艺优化(如光刻胶优化)
作为比同步辐射更强烈的光源用于表面物理和表面化学分析研究
极紫外光源系统 极紫外曝光系统
透射光栅摄谱仪(TGS) 放于真空系统中的能量检测仪Mini-E-Mon
极紫外反射率测试系统
更多信息,请查看公司网站:http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=353