光斑直径, 毫米

 15 , 20

最大扫描角度

±12.5°

小步长阶跃响应时间（1）, （ms）

0.4

误差跟踪时间（ms)

0.22

转动惯量 ,g*cm2 ,±10%

1.9

力矩常量dyne·cm/amp,±10%

1.9*105

最大平均工作电流（A/单轴）

4

峰值电流（A）

20

零点漂移（μRad/℃）

<15

比例漂移（ppm/℃）

<50

线性度（2）

≥99.90%

重复精度（μRad.）

<8

长时间漂移（连续工作8小时）（mrad）

<0.5

工作环境温度

25℃±10℃

 重量（不含电缆）（g）

235

备注：

l 所有角度均为机械角

l 所有参数为上电1分钟后测得

（1）配该型号电机所能带载的最小Y轴镜片，响应至满幅度的1%；

（2）指在±20° 光学角范围内的线性度

S-9320M 和S-9320A/D

S-9320M振镜作为2D扫描模块销售时不含箱体，由2轴振镜、2轴驱动板和XY支架组成，OEM客户可将该模块集成到自己的系统中。

S-9320A 表示产品包含箱体外壳，模拟接口

S-9320D表示产品包含箱体外壳，内含数模转换卡，数字接口

S-9320电机模块的优势有高速高精度，大扭矩，低温漂，结构紧凑，防尘抗干扰，易于安装，高效散热系统 ，主要应用于激光标刻，激光焊接，切割，钻孔等

S-9320M和S-9320A/D参数