四探针电阻率测量仪
1.覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试
2.硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜,
3.EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆,导电性糊状物,导电性塑料,导电性橡胶,导电性薄膜,金属薄膜,
4.抗静电材料, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等,
功能描述Description:
1. 四探针单电测量方法
2. 液晶显示,自动测量,自动量程,自动系数补偿.
3. 高集成电路系统、恒流输出.
4. 选配:PC软件进行数据管理和处理.
5. 提供中文或英文两种语言操作界面选择
满足标准:
1.硅片电阻率测量的国际标准(ASTM F84).
2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
工作原理和计算公式
1.四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下:
直线四探针测试布局如图8,相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理:
当电流通过1、4探针,2、3探针测试电压时计算如下:
四探针测试结构
当电流通过1、2探针,4、3探针测试电压时计算如下:
从以上计算公式可以看出:方阻RS只取决于R1和R2,与探针间距无关.针距相等与否对RS的结果无任何影响,本公司所生产之探针头全部采用等距,偏差微小,对测试结果更加。
仪器工作原理图
整机示意图---显示界面
开机页面
测试界面
标准电阻
四探针探头
四探针测试平台 +探头
四探针测试仪主机组合图
测试报表样本
步骤及流程
1. 开启电源,预热5分钟.
2. 装配好探头和测试平台.
3. 设定所需参数.
4. 测量样品
5. 导出数据.
优势描述:
1. 自动量程
2. 高准确稳定性.
3. 双电组合测试方法
4. 标准电阻校准仪器
5. PC软件运行
6. 同时显示电阻、电阻率、电导率数据.
7. 最多可显示5位有效数字.
8. 中、英文界面