准分子激光光束分析广州市固润光电科技有限公司

产品描述

准分子激光器1 5 7 nm - 3 5 1 nm, Nd Y a g 3^{r d} , 4 ^th, 5 ^th

谐波

♦ 提高效率和你的生产效率
♦ 节省你的生产成本
♦ 缩短质量控制和生产时间
♦ 可测量所有的准分子激光器
   完整的准分子束探测系统
♦ 清晰轮廓的准分子束探测器
   12位动态相机
♦ 在线质量控制
   beamlux II先进的软件ML1201
♦ 节省时间
   激光器的实时评估
   每秒10次
♦  易于比较
   打印出一维，二维，三维的评价结果和图片
♦  同步三个相机
   同时测量原始光束和平面处理
♦ TCP/IP远程控制
   从你的桌面控制你的激光系统

    准分子束分析仪是由beamlux II先进的软件, 行业标准的高分辨率的相机和UV转换器管组成。一个可选的激光同步或触发二极管装置可用于评价同步激光和相机以及单脉冲。
    附加适当的配件，可以用来衡量所有的准分子激光束。并对原始光束的评价和均质器产生顶端的配置文件区域和激光线进行了优化。
    我们的光束分析仪主要的应用领域是工业中的质量控制和提高激光研发。它是经过批准的半导体工业控制原始光束和平面处理光束质量的工具。

beamlux II 先进的 ML1200

♦ 光束分析符合ISO
♦ 波束宽度
♦ 图心
♦ 横截面
♦ 波束位置和方向的稳定性
♦ 照射区域效果
♦ 边陡度
♦ 平衡时均匀性
♦ 综合评价结果与统计
♦ 各输入输出数据格式
♦ 相机支持多
♦ 通过/不通过功能

摄影系统

♦ 高动态范围的相机
♦ 高分辨率的UV转换器
♦ 同质性 > 98 % 在活跃领域
♦ 衰减时间短
♦ 损伤阈值达到 10 W/cm2
♦ 可选单脉冲检测达到 1 kHz
(受到转换器衰减时间的限制)

为了测量193-351nm，准分子束分析仪的相机利用K2转换器和通过延长管道ML5205来实现

157 nm 的成像系统

为了157nm ，准分子束分析仪采用 ML2200 衰减器和ML1630 LSD 同步装置。相机可以通过激光脉冲同步进行单
脉冲检测。这些组件是提供真空法兰在真空或者纯净的环境下使用。

激光	波长	光束尺寸
F₂	157 nm	< 1mm Laser spot	< 5x4	< 9x6	< 13x9	< 18x13	< 27x20	<35x27	< 43x32	< 50x38*
ArF	193 nm
NdYag 5^th	213 nm
KrF	248 nm
NdYag 4^th	266 nm
XeCI	308 nm	ML5222 10x	direct	ML5201	ML5202	ML5203	ML5204	ML5205	ML5206	ML5207
XeF	351 nm	ML5223 20x	coated
NdYag 3^rd	355 nm	ML5224 40x	sensor
* (大规格可以根据客户要求做, 可以达到 200 mm)

软件	ML1201	beamlux II 高级
相机	ML3720	1/2” CCD	782 x 582
相机	ML3743	2/3” CCD	1392 x 1040

多相机支持

激光分析仪

完整的定制系统用308nm准分子激光器对近场和远场测量。

服务场所

为调整和校准准分子激光器的理想工具。

激光质量控制

准分子束分析仪可以很容易识别你的激光器的状态。

准分子激光器 157 nm

均质类低通滤波器准分子激光

准分子激光器 248 nm

激光线均质机在半导体行业用于TFT退火

准分子激光器 248 nm

对KrF准分子原始光束进行评测。

名称	值
采集的日期	10/05/2007
光束中心 (二阶矩) (x)	3.315 mm
光束中心 (二阶矩) (y)	2.199 mm
光束宽度 (二阶矩) (长轴)	28.531 m
光束宽度 (二阶矩) (短轴)	13.097 mm
光束面积 (二阶矩)	360.181 mm
光束椭偏率(二阶矩)	43.37 %
平衡强度(2D ROI)	3 Cnts/μm
平衡期是否多峰值? (2D ROI)	yes
平衡一致性 (2D ROI)	100.60 %
平衡相对一致性 (2D ROI)	105.70 %
边缘陡度 (2D ROI)	87.11 %
相对阈值 (2D ROI)	0.00 %
均匀度的因素 (阈值, 2D ROI)	25.84 %

NdYag 266 nm

    激光聚焦的第四个谐波 Nd YAG 激光器,通过ML5222与延长管放大和10倍来接收。



准分子激光器 308 nm

    XeCl准分子束分析仪原始光束

价格：面议

准分子激光光束分析

产品属性

广州市固润光电科技有限公司