台阶仪，       

NanoMap-LS   接触式三维表面台阶仪
 
NanoMap-LS   探针接触式 台阶仪 

特点 ：

探针台阶仪是利用探针扫描样品表面，仪器记录探针随样品表面高低起伏状态，整合数据得到台阶高度，表面形貌，沟槽深度等特征。 

双模式操作（针尖扫描和样品台扫描)

针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，

三维扫描范围从150mm X 150m 

样品台扫描扫描范围到100mm

纳米级抛光光学参考平晶

实时彩色光学照相机直接观测 
双光学传感器 纵向测量范围最大至1000um，最小到分辨率0.1nm 
恒定微力接触 最小0.03mg
简单友好的人机操作界面 

应用 
台阶仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三维粗糙度（Sa,Sq,Smax），划痕截面面积，划痕体积，磨损面积，磨损体积，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息，或三维信息过于粗糙的现状。

三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。 
薄膜和厚膜的台阶高度测量 
划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量 
空间分析和表面纹理表征 
平面度和曲率测量 
二维薄膜应力测量 
微电子表面分析和MEMS表征 
表面质量和缺陷检测 

环境要求 
湿度：10-80%， 相对湿度，无冷凝 
温度：65-85 华氏度（△T＜1度/小时） 
电源要求：110/240V，50/60 Hz 

关键词：台阶仪、形貌仪、磨损体积测量仪、台阶仪、薄膜测厚仪、三维表面台阶仪、三维台阶仪、白光干涉仪、三维台阶仪、三维薄膜分析仪、三维形貌仪、三维粗糙度仪、表面台阶仪、