产品型号：
OTF-1200X-III-D5-4 双层管式炉

产品简介：
OTF-1200X-III-D5-4 双层管式炉是三温区的双层石英管式炉，zei高工作温度是1200°C ，双层管式炉采用双层结构，在二层之间有间隙。在这个间隙里，可以采用CVD（化学气相沉积）的方法在金属箔上生长薄膜，是特别为生长太阳能电池、蓄电池所使用的石墨烯而设计的一款专用设备。

主要特点：
1、双层石英管：外管外径127mm(5”),内管外径101mm(4”)，金属箔缠绕在内管的外壁上用于CVD化学反应。

2、双层石英管的真空密封法兰允许反应气体通过双层管的20mm间隙进行化学反应。双层管结构允许冷却气体强制通过内管内部而达到快速冷却的效果。

3、zei高工作温度：1200°C  

4、提供真空阀和真空表。

5、详细工作原理请参见下图。







 

技术参数：
1、三温区: 共900mm,（ 36"） 。

一温区: 229mm  (9")

二温区: 457mm  (18.0")

三温区: 229 mm (9")

如果三个温区设置在同一个温度，可以在长达625 mm （25"）的恒温区上具有 +/- 1°C 的测温精度。

2、三个温区分别用30段温度控制器测量温度，并且具有 +/- 1° C 的精度。

3、zei高温度： 1200°C  。

4、连续工作温度：  1100°C

5、允许加热速率： <= 20°C /min   

产品规格：
1030 x 430 x 580 mm  ( 不算法兰和炉管 )

标准配件：
1、二根高纯熔凝石英管：

a、130 mm外径x 120 mm内径x 1400 mm 长度
b、101mm 外径 x   95 mm内径 x 1400 mm长度

2、一对SS304不锈钢法兰,用于二个石英管之间的密封支撑。

3、法兰有水冷保护套。当温度大于 900°C时，要通水冷却，可以使用自来水冷却，也可以使用水冷机循环冷却。

4、KF25 卡箍接口安装在左边法兰上，用于连接炉体与真空泵。

5、右法兰安装了不锈钢针阀。

可选配件：
冷水机、铜箔