产品描述
| 反应舱 | 材料：铝 有效尺寸：400 x 400 x 400mm 容积：64升 舱门：装有可视窗口 托盘：4个。尺寸：305 x 360 x 40mm |
| 真空度测量 | 皮拉尼真空计 |
| 真空泵 | 旋片式真空泵；30m3 每小时； |
| 频射发生器 | 0~1000w可调。100KHZ发生器 |
| 控制系统 | 触摸屏操作，PLC控制系统 PLC可实现下列功能： l 自动控制反应过程； l 根据处理材料设定不同的处理工艺流程； l 测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标； l 监测所有的运行指标，保证在设定范围之内； l 设定操作、维护密码。 |
| 电源 | 380V AC, 三相，50HZ, 40A. |
| 反应气体 | 三个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）。 |
| 气体输入 | 直径1/4’’ 管道；输入压力：1Bar. |
| 尾气排放 | 直径28mm 输出端口。 |
| 安全性能 | 急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全认证。 |
