厚度47nm光栅标准样品,三次重复测量结果(无任何减噪修正，原始数据输出）

NanoMap-PS是一款专门为nm级薄膜测量研发的无需防震台即可测量的接触式台阶仪

•    AFM同款位移传感器，超高精度

•    压电陶瓷驱动扫描，绝对无内源振动

•    自集成主动反馈式防震系统

•    真正无需额外辅助防震系统，实现高重复性纳米测量

•   纳米量级科学研究的必备产品
  

NanoMap-PS 台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面，自动测量深受广大客户欢迎。

测量表面可以覆盖多种材料表面：金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，对于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高，稳定性好。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.1nm 。 可测表面，包括透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料，金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿等；
  

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主要参数 :  

垂直分辨率             0.1nm

垂直最大量程         1000um
探针接触力             0.03mg-100mg

平台范围                 直径150毫米（可选200毫米或更大）
高清图像                  4级放大，彩色CCD
成像光源                  双长寿命强光LED

金刚石探针               0.5um 到 25um 可选