针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量

·        SMART Acquire简化了采集模式并采用已知最佳的程序设置的测量范围输入

·        Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面

·        XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描

·        使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性

·        利用已知最佳技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法

主要应用

·        台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度

·        纹理：3D粗糙度和波纹度

·        形式：3D翘曲和形状

·        边缘滚降：3D边缘轮廓测量 

·        缺陷复检：3D缺陷表面形貌

工业应用

·        大学、研究实验室和研究所

·        半导体和化合物半导体

·        LED：发光二极管

·        电力设备

·        MEMS：微电子机械系统

·        数据存储

·        医疗设备

·        精密表面

·        汽车

·        还有更多：请与我们联系以满足您的要求