普通激光镀膜

LAYERTEC专注于提供激光光学元件的镀膜，波长范围从 VUV（157nm及以下） 到 NIR波段（～4um）。最常见的光学镀膜类型是高反射镜（从正入射或者AOI=45°的转向镜），用于输出耦合的部分反射镜，以及分束器和用于窗口和透镜的抗反射膜。对于更复杂的激光器镀膜，包括3个以上波长的高反射率（例如激光器波长和倍频波长），以及3个以上波长的高透射率（例如泵浦波长，倍频或者抑制其他激光波长）。宽带反射镜，针对平滑群延迟和群延迟色散光谱优化的反射镜，这些在宽带激光输出应用中会用到，例如染料激光器，钛宝石激光器，光参量震荡器（OPO）和飞秒激光器。

除了反射率和透射率，激光应用的镀膜必须满足低光学损耗和高激光损伤阈值。

在VIS和NIR波段的溅射光学镀膜具有低杂散光和低吸收损耗（数量级都在10–5）。磁控溅射镀膜的HR镜反射率或者部分反射镜的反射透射率之和都超过99.9%。最近测量了在溅射和蒸发镀膜中的NIR波长吸收损耗都在3-30ppm。在VIS-NIR波长范围，蒸发镀膜会产生杂散光损失大约10-3级，在UV和VUV波长可以达到10-2。尽管如此，蒸发镀膜在UV波长的吸收损耗比较低。

在CW和纳秒激光器光学元件的损伤主要跟热效应有关，例如增大的吸收，镀膜材料的固有吸收或者缺陷造成的吸收，  或者 镀膜较差的热导率 以及较低的熔化温度。 高能量的镀膜要求控制镀膜材料的固有特性以及减少膜层的缺陷。皮秒和飞秒激光元件的激光损伤主要是场强效应造成的。针对这类激光器的高功率镀膜要求非常特殊的设计。

根据ISO 11254-1 (cw- LIDT and 1 on 1–LIDT, 例如单脉冲 LIDT), ISO 11254-2 (S on 1, 例如多脉冲 LIDT) 以及 ISO 11254-3 (一定数量的脉冲LIDT )标准中对激光损伤阈值LIDT的定义要求激光系统工作在单频模式下，精确的光束诊断和在线/离线损伤探测系统。因为这个原因，数量有限的配有少数几种激光器的测量系统可以使用（例如Laserzentrum Hannover 公司的1064nm）。对于比较特殊的激光器波长例如氩离子激光器（488nm或者514nm），没有测量系统可以用来验证LIDT数据。

1.       纳秒激光镜片

l  F2 157 nm

l  ArF 193 nm

l  KrF 248 nm

l  Nd:YAG/YLF 262-266 nm

l  Nd:YAG/YLF/Glass 342-355 nm

l  Nd:YAG/YLF/Glass 515-532 nm

l  Nd/Yb:YAG/YLF 1030-1064 nm

2.       皮秒激光元件

l  Ti:Sapphire 650-1150 nm

l  Nd/Yb:YAG/YLF 1030-1064 nm

3.       飞秒激光元件

l  Ti:Sapphire 200-300 nm

l  Ti:Sapphire 325-575 nm

l  Coatings 500-1000 nm

l  Ti:Sapphire 650-1150 nm

l  Nd/Yb:YAG/YLF 1030-1064 nm

l  Coatings 1000-2000 nm

4.       低损耗激光元件

l  Coatings 200-500 nm

l  Coatings 500-1000 nm

l  Coatings 1000-2000 nm

5.       金属反射镜

l  Aluminum Mirrors

l  Silver Mirror

l  Gold Mirrors

6.       激光应用滤光片

l  Coatings 200-500 nm

l  Coatings 500-1000 nm

l  Coatings 1000-2000 nm

7．  多用途宽带反射镜

l  Coatings 300-1000 nm

8. 连续和纳秒激光元件

l  Nd:YAG/YLF 262-266 nm

l  Nd:YAG/YLF/Glass 342-355 nm

l  Ar+ / Kr / HeNe 458-647 nm

l  Coatings 500-1000 nm

l  Nd:YAG/YLF/Glass 515-532 nm

l  Rubin 694 nm

l  Nd/Yb:YAG/YLF 1030-1064 nm

l  Coatings 1000-2000 nm

l  Ho/Tm:YAG 2010-2100 nm

l  Er:YAG 2940 nm

9.       未镀膜元件