氦质谱检漏仪光无源器件检漏
上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 182 TD+ 成功应用于光无源器件检漏
光无源器件是不含光能源的光功能器件的总称。光无源器件在光路中都要消耗能量，插入损耗是其主要性能指标。光无源器件有光纤连接器、光开关、光衰减器、光 纤耦合器、波分复用器、光调制器、光滤波器、光隔离器、光环行器等。它们在光路中分别实现连接、能量衰减、反向隔离、分路或合路、信号调制、滤波等功能。 本文主要介绍上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪在无源器件中的检漏应用。

无源器件检漏原因：光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分，也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高，如果存在泄漏会影响其使用性能和精度，光通信行业的漏率标准是小于 5×10^-8  mbar.l/s，因此需要进行泄漏检测。氦质谱检漏法利用氦气作为示踪气体可精确定位，定量漏点，替代传统泡沫检漏和压差检漏，目前已广泛应用于光无源器件的检漏。

无源器件检漏客户案例：深圳某知名光通信上市公司，为提高效率，需求大抽速高效的检漏仪，经过上海伯东技术工程师的选型，最终采购氦质谱检漏仪 ASM 182TD+用于光无源器件的检漏。

光无源器件检漏方法：由于无源器件体积小，且无法抽真空或直接充入氦气，我们采用“背压法”检漏，具体做法如下。
1.将被检无源器件放入真空保压罐，压力和时间根据漏率大小设定
2.取出无源器件，使用空气或氮气吹扫表面氦气
3.将无源器件放入真空测试罐，测试罐连接氦质谱检漏仪
4.启动氦质谱检漏仪，开始检漏