产品描述
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵Hipace 1200-2300，抽速范围 1200-2300 l/s 的全系列紧凑型复合轴承涡轮分子泵, HiPace 1200 - 2300系列涡轮分子泵可以倒置安装。对小分子量气体(H2, He)和大分子量气体(Ar, CF4)都有很高的抽速。
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 产品优点：
1.抽速从1200-2300l/s的全系列产品
2.安装角度可选0°-90°和90°-180°
3.分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)
4.带节流阀和阀门的集成净化气体系统
5.电压范围90 - 265 V
6.获得SEMI S2, UL, CSA和 TüV认证
7.防护等级IP54符合工业环境应用要求
8.适用于各种严苛工艺如刻蚀，溅镀，分子泵耐粉尘
9.集成分子泵控制器 TC 1200，可直接连接一般电源
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 技术参数：
分子泵型号 | 分子泵连接尺寸 DN | 抽速 l/s | 压缩比 | 最高启动压强hPa | 极限压力 | 全转速气体流量hPa l/s | 启动时间 | 重量 | |||
进气口 | 排气口 | 氮气 | 氦气He | 氢气 H2 | 氮气 | 氮气N2 | hPa | 氮气N2 | min | kg | |
HiPace® 1200 | 200 | 40 | 1,250 | 1,300 | 1,100 | > 1X108 | 2 | < 1X10–7 | 20 | 2.5 | 27 – 40 |
HiPace® 1500 | 250 | 40 | 1,400 | 1,350 | 1,150 | > 1X108 | 2 | < 1X10–7 | 20 | 2.5 | 29 – 41 |
HiPace® 1800 | 200 | 40 | 1,450 | 1,650 | 1,700 | > 1X108 | 1.8 | < 1X10–7 | 20 | 4 | 33 – 34 |
HiPace® 2300 | 250 | 40 | 1,900 | 2,000 | 1,850 | > 1X108 | 1.8 | < 1X10–7 | 20 | 4 | 34 – 47 |
C = 抗腐蚀性气体
T = 温控管理
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 应用领域：
1. 分析仪器 2. 半导体 3. 镀膜 4. 工业 5. 研发
上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国Brooks Polycold 深冷泵;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS离子蚀刻机等。
