产品描述
离子蚀刻机 10-M / NS-5:适合小规模量产使用和实验室研究
基片尺寸 | 直径 6英寸 X 1片 |
样品台 | 直接冷却，单独冷却 |
离子源 | 10cm 考夫曼离子源 |
电源 | 可更换为国内电源 |
伯东离子蚀刻机主要优点：
1. 干式制程的微细加工装置，使得在薄膜磁头，半导体元件， MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。
2. 物理蚀刻的特性，无论使用什么材料都可以用来加工，所以各种领域都可以被广泛应用。
3. 配置使用美国考夫曼公司原装制造的离子源。
4. 射频角度可以任意调整，蚀刻可以根据需要做垂直，斜面等等加工形状。
5. 基板直接加装在直接冷却装置上，所以可以在低温环境下蚀刻。
6. 配置公转自转传输机构，使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。
7. 机台设计使用自动化的操作流程，所以可以有非常友好的使用生产过程。
离子蚀刻机 10-M / NS-5: 图片： 
通不同气体的蚀刻速率
