产品描述
伯东公司授权代理德国普发pfeiffer 镀膜机-灵活设计适合技术研究、开发和生产,可实现高真空蒸发镀膜,磁控溅射镀膜,离子镀.Pfeiffer Classic 系列镀膜机（高真空镀膜系统）经过大量实验和技术知识积累研发设计,通过ISO 9001认证, ISO 14001认证,低能耗
主要应用领域: 半导体,光学,微电子学,显示屏,光电工程,表面处理等行业.
Pfeiffer 镀膜机主要型号包含:
Pfeiffer Classic 250 镀膜机(科研,小型研发)
Pfeiffer Classic 500 镀膜机(科研,小规模生产)
Pfeiffer Classic 570 镀膜机 (批量生产)
Pfeiffer Classic 580 镀膜机 (生产线大批量生产)
Pfeiffer Classic 590 镀膜机 (高吞吐量,通用的制造系统,满足最高工业需求)
Pfeiffer Classic 620 镀膜机 (最大吞吐量)
伯东公司pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 500,选用pfeiffer分子泵 Hipace 700,可定制,我司将竭诚为您服务
pfeiffer 德国普发镀膜机 Classic 500 技术参数:
真空腔体 | |
容量 | 150 l |
内部尺寸 | 500 mm |
高度 | 575 mm |
Door Opening | W x H 500 x 575 mm |
整机漏率 | <1x10-5 mbar x l /s |
最终压力 | <5x10-7 mbar |
高真空泵组(标准型) | |
分子泵 | Hipace 700 |
隔膜泵 | MD4 |
旋片泵 | DUO 20 |
真空测量 | 全量程真空计 |
电源 | |
电压 | 3 x 400 V |
频率 | 50/60 HZ |
水冷 | |
Chamber Usage approx (a) | 500 l/h |
Pump Set Usage approx (a) | 15 l/h |
进气温度 | 25 °C |
压力 | 4 – 6 bar |
In- and Outlet Nipple | 3/4" |
Hot Water | |
Chamber Usage approx (a) | 500 l/h |
进气温度 | 70 °C |
压力 | 4 – 6 bar |
In- and Outlet Nipple | 3/8" |
尺寸 | |
占地面积 | 1.4 m2 |
L x W x H | 1,4 x 1 x 1,9 m |
重量 | 600 kg |
最大环境温度 | 40 °C |
伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的 真空测量(真空计, 真空规管); 氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及 Cryopump冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源.
