PlasCalc等离子体监控系统

PlasCalc等离子体监控系统通过测量等离子体反应腔的发射光谱，实时监测反应腔内的等离子体组分和密度、等离子体温度、电子密度等参数。由等离子体发射光谱的强度值可计算得出等离子组分、颗粒密度及电子密度；由同一电子的能量吸收谱线同另外谱线的对比可计算得出电子温度。测量输出结果，可反馈控制等离子体的发生，从而获得最佳的反应流程和效果。

PlasCalc等离子体监控系统主要包括：高性能线阵CCD光谱仪、传输光纤、接收透镜、过程监控装置及测量分析软件。

PlasCalc应用于测量等离子体镀膜沉积情况，监测等离子浊刻，检查表面清洁处理，分析等离子反应腔控制情况，监测异常污染排放现象，磁控溅射、光学镀膜、终点测量、开发等离子过程的监测和控制优化。

PlasCalc等离子体监控系统基本性能：

●测量范围：测量发射光谱获得等离子体组分/密度/电子温度等参数

●光谱范围：200-1100nm

●探测器：2048像素CCD

●光谱分辨率：1nm

●A/D转换：14位

●通讯方式：USB1.1

●供电方式：直流12V；1.25A

●应用场合：等离子体镀膜沉积/等离子体监测/安全监控/反映过程优化/终点测量

◆PlasCalc等离子体监控系统应用软件

-实时在线监测等离子过程的发射光谱

-监测和控制的双屏幕技术

-8数字量输入/输出；4模拟量输出

-终点、启动、停止及限位的信息音提示

◆备选附件

-SpecLine Software：峰值查找和谱线辨别

-UV & UV-VIS & NIR 传输光纤

-COL-UV-6 & COL-UV-30准值透镜

-VFT真空接管

-PVFT-UVX & PVFT-UVX真空法兰接头