膜厚测量仪

通过薄膜表面与基底材料反射光的干涉现象，可快速可靠地测量半透明及透明膜的厚度。非接触式测量，不会破坏测试样品。 

NanoCalc测试系统主要包括：宽带光源、高性能线阵CCD光谱仪、传输光纤、样品测试台及测量分析软件。NanoCalc膜厚测量仪适合于在线膜厚测量，包括氧化层、氮化硅薄膜，感光胶片及其它类型的薄膜，NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷等物质上的抗反射涂层、抗膜涂层。

NanoCalc膜厚仪基本性能：

●基本型号：NanoCalc-UV/VIS/NIR & NanoCalc-UV/VIS & NanoCalc-VIS/NIR

●光谱范围：250~1100nm(UV/VIS/NIR) & 900-1700nm(512-NIR)

●膜厚分辨率：0.1nm

●测量时间：100ms~1s

●多达10层膜厚测量

●快速响应：在线测量

●基底材料：钢/铝/铜/陶瓷/塑料等

●新型号：NanoCalc-MIK中整合摄影机

●材料库： 400种材料的n和k值且可添加

●应用场合：氧化物/SiNx/感光保护膜/半导体膜

NanoCalc膜厚仪应用软件
◆膜厚测量/n&k值测量
◆用户自定义材料层结构
◆自动调整积分时间
◆层材料信息分层显示