描述：

Hiden SIMS二次离子质谱工作站提供高性能静态和动态 SIMS 分析，用于的表面成份分析和深度剖析。

SIMS 工作站(SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility) ，综合UHV / SIMS 设备，进行高级的表面分析。可靠的、普遍适用的SIMS分析工作站。

·整合的离子源，便于RGA和SNMS

·各类型样品的快速转向

·阴、阳离子、中性粒子、自由基的质量、能量分析仪

·整合的离子枪光栅控制和信号选通，进行深度分析

·绝缘体研究中的电子流枪用于电荷中和

·液氮冷井和真空室烘烤加热器

·自动的SIMS 离子光学透镜调谐和质量数列表，使SIMS性能最佳

·Hiden EQS SIMS 分析仪，运行于 MASsoft O/S 之下，检测限至ppb级

·基本的激发源选择： 带差式泵的Hiden IG20 Ion，IFG200 FAB或高性能液态镓枪

·快速样品传递，样品固定，负载锁定的操纵器

·4 轴：X, Y, Z, θ UHV 操纵器，以最佳定位样品

·加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序，进行SIMS元素成像

·静态SIMS谱图库可用

仪器简介：
1. 适合做多层薄膜的深度分析。
2. 很好的、耐用的、普通目的的二次离子质谱仪。
3. 方便使用。
4. 样品可以手动转换，由于分析速度快所以每天可以分析一定数量的样品。
5. 我们的系统可配置快速原子枪，使我们可以轻松处理绝缘的样品。
6. 我们还可以做元素成像（就象化学地图）和混合模式扫描，自动测量正、负和中性粒子。
7. 我们的系统是典型的超高真空工作台，很容易满足很多其它分析的使用。

结构紧凑，但不损失性能。真正的高性价比。

技术参数：
质量数范围：300，510或1000amu
分辨率：5%的谷，两个相连的等高峰。
检测器：离子计数检测器，正、负离子检测
检测限：1:10E7
质量过滤器：三级过滤四极杆（9mm杆）
主离子枪： A，氧离子或其它气体，能量到5KeV
          B，Ga离子枪，能量25KeV（选配）
空间分辨率：A：100～150um
           B: 50nm
取样深度：2个单分子层（静态）
         不受限制（动态）


主要特点：

.高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围

.SIMS 成像，分辨率在微米以下

.光栅控制，增强深度分析能力

.所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输

.差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至1000amu

.灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器

.Penning规和互锁装置可提供过压保护

.通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制