远程控制等离子清洗机

型号：EM-KLEEN

用于电子显微镜等分析仪器如SEM、FIB、TEM样品室的清洁、XPS和SIMS、ASE 系统

源于劳伦斯伯克利国家重点实验室的SmartClean^TM

技术，设计精巧，智能，功能强大

EM-KLEEN 构成：

Pirani压力传感器 ：实时监测样品室压力，可以作为安全模式的安全联锁触发器，并未功能计数器加载事件

自动气体流量控制器 ：很容易真空抽到10-7 Torr，自动调节气体流量

等离子强度传感器 ：用户可实时监测等离子强度状态

温度传感器 :  提供联锁保护，防止长时间工作电源工作温度过高

冷却风扇 ：大功率风冷冷却，而不会导致电源过热

液晶触摸屏控制器 ：嵌入式微处理器，串联工作，自动控制系统，并为客户提供保护