产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜，光伏等行业。

功能描述

支持正压检漏，负压检漏

自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果

优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应

高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦

支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底

机器卓越的性能支持7*24小时长时间在线测试

机器卓越的性能支持几秒一次的高频率测试

配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤

双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击

支持定制检漏工作台，更加便捷使用

技术参数

最小可检漏率（负压模式）  5×10-13Pa•m3/s 

最小可检漏率（正压模式）  1×10-8Pa•m3/s

检漏口压强        粗检          1500Pa

                         中检          200Pa

                         精检          40Pa

响应时间                             ＜0.5s

启动时间                             ≤2min

前级涡旋干泵抽速                10m3/h  

外形尺寸（W×D×H）         845×465×988

重量                                    73Kg